EUV가 도대체 뭔가요?

산업/기술/IT 경제/소비자+1 사상/철학/역사+4
박용섭
박용섭 인증된 계정 · 평범한 물리학자의 TMI
2023/07/22
반도체가 난리도 아니다. 

미국과 중국의 세계 패권 경쟁의 와중에 중국의 첨단 반도체 기술이 미국과 경쟁할 수준으로 올라오지 못하게 하려는 미국의 전략 때문에 반도체 생산 능력으로는 세계 정상인 우리나라는 미국에 붙어서 중국을 배척 해도 손해이고 그 반대로 해도 손해인 상황에 처하고 있다. 전략적으로 정말 신중하게 스텝을 밟아나가지 않으면 까딱 잘못하면 과거 일본의 경우처럼 세계를 호령하는 반도체 강대국에서 쫄딱 망하는 상황으로 순식간에 갈 수도 있다. 현업에서 전략을 수립하는 사람들과 정치 외교를 하는 사람들이 정말 정말 잘 해주기를 바라는 마음 간절하다.

이처럼 격화되는 미중 반도체 경쟁에서 약방의 감초처럼 등장하는 이름이 EUV 장비와 네델란드의 반도체 장비회사 ASML이다. 오늘은 EUV가 대체 뭐길래 이 난리인지 ASML은 왜 “수퍼 을”의 위치에 오르게 되었는지 좀 알아보기로 하자.
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이러한 내용을 제대로 이해하려면 반도체가 만들어지는 과정에 대해서 약간은 알 필요가 있다. 위 그림을 보면서 설명을 해보자. 그림에 제일 왼쪽 위를 보면 기판위에 어떤 박막이 올라가 있는 상태가 시작이다. 보통은 실리콘(Si) 위에 실리콘 산화막(SiO2)이 올라가 있다. 이 막을 만드는 과정과 두께 조절도 첨단 기술이지만 어쨌든 이 이후 과정의 목표는 SiO2 박막의 특정한 부분만 제거하고 원하는 부분만 남겨두는, 소위 “패터닝”이다. 

패터닝을 위해 제일 먼저 하는 것이 SiO2 전체에 감광제(photoresist, PR)을 도포하는 것이다. PR은 사진 필름처럼 빛을 받으면 그 성질이 변화하는 유기물이다. 용액에 PR 물질을 녹인후 이 용액을 SiO2 막위에 적당한 두께로 도포한 후에 마스크(mask)를 올린다. 여기서 마스...
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물리학자. 고체/응용 물리 실험 전공. 세상의 모든 지식을 알고싶어 함. 물리학/반도체/컴퓨터/디스플레이/양자기술/인공지능 최신동향과 바이오 기술에 관심이 많음. 공저 <물질의 재발견> (2023 김영사).
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